鎢電極研磨工藝的機械化-《電焊機》2004年09期
2004年9月23日-鎢(wu)電極研(yan)(yan)磨工(gong)藝機(ji)械化(hua)焊接(jie)電極頭表面粗糙度(du)焊接(jie)工(gong)藝研(yan)(yan)磨機(ji)幾何(he)形狀研(yan)(yan)磨砂(sha)輪焊縫質量。
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一種減少(shao)鎢化(hua)學機械研磨微(wei)(wei)刮痕的(de)工藝(yi),提供一半導體(ti)基底,其制作鎢插塞的(de)主要步驟有(you)光阻涂布、微(wei)(wei)影,蝕刻。
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黝圖(tu)1-6銅化(hua)學(xue)機械拋(pao)光(guang)工藝流程圖(tu)1-7雙嵌入(ru)形成(cheng)鎢(wu)插塞(sai)和(he)局部互連1.3鎢(wu)鑲(xiang)嵌圖(tu)3—2拋(pao)光(guang)速(su)率,均勻性和(he)研磨(mo)臺轉速(su)的(de)依存性(32藝條件拋(pao)光(guang)頭壓力-250hap;。
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一(yi)種(zhong)改善接觸(chu)(chu)孔(kong)之鎢化學機械研磨(mo)后平(ping)坦性的方法,包括:步驟S1:在硅基(ji)襯底上(shang)制(zhi)備前道器件和絕緣介(jie)質(zhi)層;步驟S2:在接觸(chu)(chu)絕緣介(jie)質(zhi)層上(shang)淀積對鎢金屬具有高研磨(mo)選擇比的。
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多(duo)采用三級(ji)跳(tiao)汰、多(duo)級(ji)床選(xuan)(xuan)、跳(tiao)尾再(zai)磨(mo),搖床中礦掃選(xuan)(xuan)的(de)貧(pin)富分(fen)選(xuan)(xuan)或合選(xuan)(xuan)的(de)工藝(yi)流(liu)程。該流(liu)程適(shi)應鎢(wu)礦石的(de)特點,避(bi)免(mian)了(le)過(guo)粉(fen)碎,強化了(le)粗選(xuan)(xuan)段。鄭(zheng)州華昌機械(xie)制造有限。
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