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2008年12月29日(ri)(ri)-西(xi)安理(li)工(gong)大學(xue)承擔(dan)的陜西(xi)重大科(ke)技創(chuang)新(xin)項(xiang)目“大直徑碳化硅晶體(ti)生長(chang)工(gong)藝及設備(2005ZKC05-02)”于(yu)2008年12月24日(ri)(ri)通過驗收。由(you)陜西(xi)省(sheng)(sheng)科(ke)學(xue)技術廳會(hui)同省(sheng)(sheng)。

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2006年7月6日-西安理工大學(xue)電子工程系陳治明教授承擔的陜西省重(zhong)大科技創新項目“大直徑碳化硅晶體(ti)生(sheng)長工藝(yi)及(ji)設備”進(jin)展順利,目前已用該課題(ti)組(zu)自行研制、具有自主知識(shi)產權。

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陜西重大科技創新項目“大直徑碳化硅晶體生長工藝及設備”通過驗收

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陜西省重大科技創新項目:我校“大直徑碳化硅晶體生長工藝及設備”

[摘要]一種(zhong)制造單晶碳(tan)化硅薄(bo)膜(mo)的(de)設備(bei)(bei),包括(kuo)適于(yu)接受成膜(mo)用(yong)的(de)SOI基材100的(de)成膜(mo)利(li)用(yong)本發明的(de)方法制備(bei)(bei)碳(tan)化硅納米棒,其工藝實施簡單、易于(yu)大批量生產、制備(bei)(bei)溫度低(di)。

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